Город
НИИМЭ и НИИТМ разработали оборудование для техпроцесса 65-нм на пластинах до 300 мм
16.12.2025 16:42 | 733
Научно‑исследовательские институты НИИМЭ и НИИТМ, входящие в Группу компаний «Элемент», MOEX:ELMT, завершили разработку и сборку первых в РФ кластерных систем для процессов плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ)